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Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · DE300 · DE · Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
| Los | Bezeichnung | Menge | Wert |
|---|---|---|---|
| 1 | FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support) | — | — |
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| Vergabestelle |
| Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik |
| Verfahrensart | Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb |
| CPV-Code | 42990000 |
| Region | DE300 |
| Land | DE |
| Veröffentlicht | 13.09.2026 |
| Zuletzt geändert | 14.09.2026 |
| Angebotsfrist | 13.10.2026 |
| Liefertermin | 11.03.2028 |
Quelle: TED – Tenders Electronic Daily (Amtsblatt der Europäischen Union). Procurento ist nicht die Vergabestelle, sondern stellt diese amtliche Bekanntmachung strukturiert dar.
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